各种质谱仪对分析真空度的要求大致如下（以毫巴mbar为单位）：

• 商业飞行时间质谱仪（TOF-MS）通常要求真空度低于 $10^{-6}$ mbar。

• 离子阱质谱仪的真空度一般维持在 $10^{-5}$ mbar。

• 为保证质谱仪正常运行，通常需要串联粗真空和高真空泵，粗真空泵适用压力范围约为1000至$10^{-3}$ mbar，高真空范围为$10^{-7}$ mbar。

• 质谱分析器内部通常要求达到约$10^{-4}$ Pa（约等于$10^{-6}$ mbar）级的高真空环境，以减少离子与中性气体分子碰撞，提高灵敏度和分辨率。

总结：

此真空度要求确保质谱仪中离子的有效传输和检测，避免气体分子干扰123。

Citations:

1. https://m.antpedia.com/news/3089871.html

2. https://www.ccnta.cn/article/6897.html

3. https://www.leybold.cn/zh-cn/knowledge/vacuum-fundamentals/fundamental-physics-of-vacuum/units-and-ranges-of-pressure

4. https://www.leybold.cn/zh-cn/knowledge/vacuum-fundamentals/reference/glossary-of-units

5. https://www.kyky.com.cn/Upload/File/202108/20210819110101_3196.pdf

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