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排名 | 机构名称 | 真空极限(mbar) | 备注 |
1 | 欧洲核子研究中心(CERN) | 1×10^-11 mbar | 用于大型强子对撞机(LHC)粒子加速器真空系统[ |
2 | 美国国家标准与技术研究院(NIST) | 1×10^-12 mbar | 高精度计量与传感器研究 |
3 | LIGO实验室 | 1×10^-9 mbar | 引力波探测用10,000立方米超大真空室 |
4 | NASA Space Power Facility (SPF) | 1×10^-6 mbar | 世界最大真空室,航天器测试用 |
5 | SLAC国家加速器实验室 | 1×10^-10 mbar | 粒子加速器真空系统 |
6 | Fermilab | 1×10^-10 mbar | 粒子物理研究用超高真空 |
7 | 高端电子显微镜与表面科学实验室 | 1×10^-10 至 1×10^-12 mbar | 用于电子显微镜、X射线光谱等 |
8 | 日本理化学研究所(RIKEN) | ~1×10^-11 mbar | 先进真空技术研究机构(推测) |
9 | 德国马克斯普朗克研究所 | ~1×10^-12 mbar | 表面科学与纳米技术研究 |
10 | 斯坦福大学真空实验室 | 1×10^-11 mbar | 超高真空物理研究 |
全球在获取极限真空方面具有代表性的机构及其达到的真空度(以mbar表示),结合公开资料和超高真空(UHV)技术极限整理。真空极限从10^-6毫吧(NASA大型航天真空室)到10^-12毫吧(极端超高真空实验室)不等。
超高真空(UHV)定义为低于约10^-8毫吧,极端超高真空(XHV)可达10^-12毫吧或更低。
这些机构通过先进的材料选择、系统设计和多级泵系统实现极限真空。
此表综合了科研机构和实验设施的代表性极限真空水平,具体数值因设备和应用不同略有差异。
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