Robust control for temperature variation of the special suction cup based on feedforward decoupling algorithm

科学家开发基于前馈解耦算法的特种吸盘温度变化鲁棒控制

上海工程技术大学Xintian Liu团队开发基于前馈解耦算法的特种吸盘温度变化鲁棒控制。相关论文于2026年1月1日发表在国际学术期刊《机械工程进展》上。

为了提高碳化硅晶圆加热吸盘表面温升的稳定性和一致性，研究人员采用基于金属氧化物导电涂层加热的特种吸盘。针对由于各区域之间耦合干扰导致特种吸盘表面温升不均匀的问题，提出了一种基于四区域温度控制系统的Smith模糊多级积分分离PID前馈解耦方法。

首先，根据特种吸盘的加热结构和传热机理建立温度控制系统的数学模型。随后，分别构建了有无前馈解耦算法的Smith模糊多级积分分离PID仿真模型，并进行对比实验，同时利用Bode图对系统稳定性进行分析。之后，在基于PLC控制器构建的特种吸盘温度控制系统平台上开展实验测试。仿真与实验结果均表明，研究人员所提出的控制算法能够有效解决特种吸盘表面温度不均匀的问题，并实现基于前馈解耦算法的鲁棒温度控制。

Advances in Mechanical Engineering

本刊是本经过同行评审的开放获取期刊。面向机械工程各个领域出版原创论文以及综述文章，欢迎来自基础及应用领域的原创研究并鼓励具有新颖和创新见解的投稿。

期刊优势

影响因子：2.0

期刊分区：JCR Q3, ENGINEERING, MECHANICAL; THERMODYNAMICS

期刊网址: 

https://uk.sagepub.com/en-gb/chi/journal/advances-mechanical-engineering?utm_source=wechat&utm_medium=china_social&utm_campaign=sciencenet_ade_260116

往期研究:

https://sage.cnpereading.com/search//openoa/adea?utm_source=wechat&utm_medium=china_social&utm_campaign=sciencenet_ade_260116

投稿网址:

https://mc.manuscriptcentral.com/aime?utm_source=wechat&utm_medium=china_social&utm_campaign=sciencenet_ade_260116

转载本文请联系原作者获取授权，同时请注明本文来自Sage学术科学网博客。

链接地址：https://wap.sciencenet.cn/blog-3650976-1532305.html?mobile=1

收藏

分享