李中平
不同类型的真空计和真空泵在不同压力范围内的应用
2025-5-10 10:51
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不同类型的真空计和真空泵在不同压力范围内的应用。图表分为两大部分:真空计(Vacuum Gauges)和真空泵(Vacuum Pumps),分别用红色和黄色框标出。

在真空计部分,从左到右的压力范围覆盖了从10^-12 Pa到10^4 Pa的广泛区间。不同的真空计适用于不同的压力范围。例如,U-tube和Bourdon gauge适用于较高的压力范围(10^0 Pa到10^4 Pa),而热电偶(Thermocouple)和Pirani gauge则适用于中等压力范围(10^-3 Pa到10^0 Pa)。对于更低的压力范围(10^-6 Pa到10^-12 Pa),则需要使用更精密的真空计,如冷阴极放电真空计(Cold-Cathode Discharge gauge)和提取离子化真空计(Extractor-Ionization gauge, Modified Bayard-Alpert)。

在真空泵部分,根据其工作原理和适用的压力范围,被分为粗抽泵(Roughing Pumps)、高真空泵(High-Vacuum Pumps)和超高真空泵(Ultra-High-Vacuum Pumps)。粗抽泵如旋转活塞机械泵(Rotary Piston Mechanical pump)和油封机械泵(Oil-Sealed Mechanical pump)适用于较高的压力范围(10^-1 Pa到10^2 Pa)。高真空泵如扩散泵(Diffusion pump)和液氮阱(Liquid-Nitrogen trap)则适用于更低的压力范围(10^-5 Pa到10^-8 Pa)。而超高真空泵如涡轮分子泵(Turbomolecular pump)和离子溅射泵(Ion Sputter pump)则适用于极低的压力范围(10^-9 Pa到10^-12 Pa)。

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资料来源:https://cds.cern.ch/record/582156/files/p1.pdf

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