人工达到的真空度范围极广，最高可达到极高真空（Extreme High Vacuum, XHV）级别：

• 高真空（High Vacuum）：压力约在0.1 Pa到1×10⁻⁶ Pa之间。

• 超高真空（Ultra-High Vacuum, UHV）：压力低于1×10⁻⁶ Pa（约10⁻⁸ mbar，7.5×10⁻⁹ Torr），常见于表面科学和粒子加速器中。

• 极高真空（Extreme High Vacuum, XHV）：压力低于1×10⁻⁹ Pa，使用特殊材料、金属密封和低排气处理实现。

实验室中常规能达到的最低压力约为10⁻¹²至10⁻¹³ Torr（约1.3×10⁻¹⁰至1.3×10⁻¹¹ Pa），而极限记录可达10⁻¹⁴至10⁻¹⁵ Torr（约1.3×10⁻¹²至1.3×10⁻¹³ Pa），这需要采用离子泵、低排气材料、烘烤处理和低温冷却等先进技术12345。

这些极端真空条件广泛应用于粒子物理、表面分析和量子计算等领域。

Citations:

1. https://en.wikipedia.org/wiki/Vacuum

2. https://cryospain.com/ultra-high-vacuum-ultimate-evolution-of-high-vacuum

3. https://www.mks.com/n/principles-of-vacuum-technote

4. https://en.wikipedia.org/wiki/Ultra-high_vacuum

5. https://kindle-tech.com/faqs/what-is-the-lowest-possible-vacuum-pressure

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