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中国半导体十大研究进展候选推荐(2023-025)——利用“印章法”在各种绝缘衬底制备单层单晶氮化硼

已有 364 次阅读 2023-11-30 08:42 |系统分类:论文交流

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工作简介

         ——利用“印章法”在各种绝缘衬底制备单层单晶氮化硼


华南师范大学徐小志教授和北京大学刘开辉教授合作,在低维单晶材料生长方面取得重要进展,实现了在各种绝缘衬底上制备英寸大小的单层单晶氮化硼。该研究成果以“Stamped production of single-crystal hexagonal boron nitride monolayers on various insulating substrates”为题,于2023年10月12日在线发表在《Nature Communications》上。

由于二维(2D)材料具有更小的尺寸、更高的速度和优越的电学性能,基于全2D材料的器件可能会在未来的半导体行业中带来新的应用。在过去的十年中,人们制备单晶2D导体、半导体和绝缘体方面取得了很大的进展。但是,由于缺少金属催化作用,单晶石墨烯与氮化硼在绝缘衬底上的合成一直以来是一个巨大的挑战。目前,单晶氮化硼在绝缘衬底上的可控生长已成为制约全2D材料基器件发展的一大障碍。

在这项工作中,研究组报道了一种利用相互作用调制二维材料在绝缘衬底上制备的新机理,实现了厘米级单层单晶六方氮化硼的外延制备。这一生长机理的关键物理思想在于:高温下铜箔和衬底的距离会逐渐从百微米量级减小到原子尺度,这种效应会导致铜箔下表面生长的氮化硼或者石墨烯与衬底的间距逐渐减小到原子量级,在该尺度下氮化硼/石墨烯与衬底会有很强的相互吸引力,从而保证除去铜箔后还能完整保留氮化硼/石墨烯薄膜。因此,无论绝缘衬底的类型或结晶度如何,都可以通过类印章工艺去除铜箔来获得单晶氮化硼/石墨烯薄膜。这项工作将有望促进全单晶2D材料基器件的制造过程及其应用。 

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图1. 通过升高温度调控铜箔与衬底之间的间距至原子量级。

华南师范大学博士生曾凡凯、华南师范大学硕士生王然、青年英才特聘研究员魏文娅、北京大学博士生冯佐为论文共同第一作者,华南师范大学徐小志教授、北京大学刘开辉教授为共同通讯作者。该研究得到了国家重点研发计划课题、国家优秀青年科学基金、广东省杰出青年基金、广东省重点领域研发计划、华南师范大学物理学一流学科建设经费等的支持。

作者简介

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通讯作者

徐小志,华南师范大学物理学院教授,博士生导师。

主要从事大尺寸二维单晶材料的生长设计与物态调控研究,代表性成果包括:(1)提出利用表面悬挂键断裂释放局域元素调控二维材料生长动力学势垒和热力学能级的方法,实现石墨烯超快生长;(2)提出利用表面原子结构调控二维材料生长的方法,实现了大尺寸单晶石墨烯、氮化硼和过渡金属硫族化合物制备;(3)提出利用表面能与界面能调控晶面指数的方法,实现30余种A4尺寸高指数单晶铜箔制造。自2016年以来,发表通讯/第一作者论文19篇,包括Nature 2篇、Nature Nanotechnology 2篇、Nature Chemistry 1篇、Nature Communications 2篇,获授权发明专利19项。目前主持国家重点研发计划课题、国防科技创新特区项目、广东省重点领域研发计划、广东省杰出青年基金、基金委青年科学基金项目等项目;获评“2019中国十大新锐科技人物”;研究工作入选2020年中国半导体十大研究进展、2020年中国重大技术进展、2019年中国百篇最具影响国际学术论文、2023年中国半导体年度十大研究进展候选、Science Bulletin 2018年最佳论文奖;担任《Materials Futures》、《Frontiers of physics》杂志青年编委。 

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通讯作者

刘开辉北京大学物理学院教授,博士生导师。

主要从事米级二维单晶材料制备和纳米光谱学表征技术研究。近年来,在二维材料表界面生长调控、米级单晶薄膜通用制造技术、表界面耦合物理及器件方向取得了系列研究进展,发表SCI论文240余篇,其中包括通讯作者的Nature(2篇)、Nature子刊(21篇)、Adv Mater(14篇)、PNAS(2篇)、JACS(2篇)等;撰写综述文章14篇,主编专著1部。获得2021年科学探索奖、2020年国家杰出青年基金和2019年北京市自然科学基金杰出基金等项目资助;担任国家重点研发计划负责人、Science Bulletin副主编。


原文传递


详情请点击论文链接:

https://www.nature.com/articles/s41467-023-42270-x#Ack1




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