从2002年林本坚在美国一场以157纳米波长为主题的研讨会上发表1－理论概念（浸润式微影光刻）https://baike.sogou.com/m/fullLemma?lid=176128640，
到ASML、台积电https://baijiahao.baidu.com/s?id=1724643665012290204实现2－技术途径的光刻机（2004年台积电和ASML共同研发出世界第一台浸润式微影机台），就反映了从概念到实现的过程。

  

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