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我们发明了基于SOI衬底的Fabry-Pérot(F-P)光学谐振腔制备技术,彻底解决了传统F-P腔制备中的刻蚀表面不够平滑的问题,研制出高质量的“硅基F-P腔生物传感器芯片”;并搭建了基于双槽F-P腔结构的光学差分测试系统,检测精度达到了10-8 RIU(折射率单位),且无折射率范围限制;与Biacore公司的表面等离子谐振(SPR)分析仪相比,检测精度高出一个数量级,价格降低一个数量级。
该研究成果,发表在美国物理协会AIP的权威刊物上(P. Liu, H. Huang*, T. Cao, X. Liu, Z. Qi, Z. Tang, and J. Zhang,"An ultra-low detection-limit optofluidic biosensor with integrated dual-channel Fabry-Pérot cavity", Appl. Phys. Lett., 102(2013)163701)。
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