AccuSizer 液体颗粒计数器系列具有高灵敏度,高分辨率,高达1024数据通道的特点。在检测液体中的颗粒数量的同时精确测量颗粒的粒度及粒度分布,结合全新一代AccuSizer软件的强大分析功能,通过真实精细的分布结果,广泛服务于精细化工、半导体、医药、光电、过滤等领域。AccuSizer 液体颗粒计数器系列通过搭配不同传感器、进样器,适配不同样本的测试需求,是快速而准确地测量颗粒粒径以及颗粒数量/浓度的卓越伙伴
1. 仪器优势
模块化设计
高粘度检测
计数效率高——颗粒计数器的计数效率主要体现在两个指标上:
单位时间内可计数的总数和重复性(统计学意义)A7000系列颗粒计数器可以在短时间内快速计数大量粒子
0.01 um精度的超高分辨率——AccuSizer 颗粒计数器系列具有1024个数据通道,对颗粒计数器而言,数据通道是指在检测量程范围内,按照粒径大小划分的精细程度。通道数 越高,则划分的越精细,展现出来更加真实的颗粒分布情况。能反映复杂样品的细微差异,为研发及品控保驾护航
多通道优势——如下图所示,这是0.8μm、2μm、5μm的混合标粒在8通道,16通道,512通道下不同的图谱。可以看到,在8通道下只有一个峰,粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之间。在16通道下,可以看到2个峰,一个峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之间,另外一个峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之间。切换到512通道,可以明显看到3个主峰,分别是0.8μm、2μm和5μm。在低通道的模式下,由于数据不够精确,容易导致误判。通道数变多,能够更准确反映出样品的真实情况。
10PPT等级的超高灵敏度
左图为使用SPOS技术测得的粒度分布图谱,右图为使用激光衍射法(LD)技术测得的粒度分布图谱。左图为3.41微升的1微米PSL标粒分散于250毫升氧化硅中的PSD图谱,右上图为177微升同样的标粒分散于同体积氧化硅,右下图为360微升同样的标粒分散于4.3mL的氧化硅中。由图谱可以看出:尽管将浓度提高52倍(如右上图所示),LD不能将不同组分进行区分;将浓度提高约6000倍(如右下图所示),方能看出有尾端大粒子存在。这充分说明SPOS技术比LD的灵敏度显著提升约6000倍。
CETAC自动进样系统——搭载全自动进样器,可满足多组样品的检测需求,大大节省操作时间和人工成本
2. 检测原理
单颗粒光学传感技术(Single Particle Optical (SPOS))
传统的粒度表征的方式是用激光衍射法来获得粒度体积径分布。其优点是检测方便,干法湿法都能测试,数据结果容易辨读,如D10,D50,D90。但由于其理论的理想化假设,如米氏散射理论和夫琅禾费衍射理论都将颗粒假定为非常标准的圆形且计算中采用的物理光学参数都非常精确,这就导致了在实际应用中产生了一系列的问题,如不同厂家的仪器测试的结果不统一;即使同样的样品,同样的仪器在不同时期不同的人操作也会产生差异;对不同大小的粒径分辨率不足等。
AccuSizer® 系列仪器使用单颗粒光学传感技术(Single Particle Optical Sizing,SPOS),对大量粒子样本进行粒径测试并计数,一次检测一个颗粒,来构建真正的粒度分布(PSD),不仅可以得到高分辨率传统的体积分布结果,也可以得到量化的数量分布结果。其前所未有地将样品中颗粒的数量和大小进行了量化,可以很轻松地将样品中的个别大颗粒检测出来,对尾端粒子的高分辨率和灵敏性为产品的均一稳定性研究提供了强有力的武器。
粒子通过光感区域的时候阻碍了一部分入射光,引起到达检测器的光强降低,此信号的衰减幅度理论上与粒子的横截面成比例关系。在光阻法仪器中,将光强信号转换成电信号,具体表现为电压值,不同粒径大小的粒子产生的电压值不同。根据对应关系,就可以建立标准粒子和粒径大小的校准曲线。这是传统的光阻法(也称为光消减法,Light Extinction or Light obscuration)检测粒径的原理。传统光阻法的范围下限一般到1.5µm。
Entegris(PSS)的SPOS技术结合了光阻效应和光散理论,将颗粒计数的下限下探到0.5µm。这不仅迎合了更严苛的质量要求,也助力于精密制造对环境杂质的高标要求。多达512个数据通道使数据辨析清晰可见。如下图所示,所用样品为经过400目(37μm)筛的标准粒子。理论上超过37微米的应该没有或者极少。红色为激光衍射(Laser Diffraction)弗朗和费理论(Frannhofer)的测试结果,绿色为SPOS设备测试结果。SPOS测试结果显示在35μm以上没有颗粒,而LD显示即使300μm也有颗粒存在。原因在于粒度检测的整体理论(Ensemble method)是模拟计算的结果,此类理论揭示的是自然界中实际呈现的正态分布现象。
聚焦光束纳米计数技术Focus Beam
传统的液体颗粒计数器,尤其是低下限到瑞利散射(Rayleigh’s Law)区的非常小的粒子,如果要探测到相应的信号,要解决的问题主要有两个:问题1:光信号不足;问题2:如何聚焦到如此窄的粒径范围。要想解决这个问题,理论上我们需要能量非常高的激光。但是在现实中,往往很难达到理论上的要求。由此,Entegris(PSS)的科学家研发出了FX系列(A9000系列)传感器。
AccuSizer A9000FX系列液体颗粒计数器采用创新的基于光阻法的聚焦光束纳米计数技术(Focus Beam),其在传统LE光阻传感器(Light Extinction)的单颗粒光学传感技术(SPOS)的基础上进行了改进和变革,解决了传统光阻法传感器对于液体浓度要求苛刻的限制,可检测的原液浓度高,配合稀释,可以检测更高浓度的样本。
产品系列型号
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