均一微滴制备技术研究进展

王同举^1，2，张琦美^1，2，张文倩^1，2，雷永平^3*，林健³，符寒光³

1. 北华航天工业学院电子与控制工程学院，廊坊065000

2. 河北省微纳卫星协同创新中心，廊坊065000

3. 北京工业大学材料与制造学部，北京100000

摘要 均一微滴的应用十分广泛，生成方法越来越高效可控。阐述了射流扰动均一微滴制备技术和按需可控均一微滴制备技术的原理。基于脉冲力形成的原理不同，均一微滴制备技术分为压电式、电磁致动式、磁流体式、气压脉冲式和激光流体共振式，总结了5种模式的原理和技术现状。梳理了均一微滴制备技术在电子封装领域、喷墨彩印技术领域、微型件3D打印领域和生物制药等领域的应用现状，并展望了均一微滴制备技术的发展趋势。

关键词 均一微滴；射流扰动；按需可控；电子封装；3D打印

（责任编辑 傅雪）

http://www.kjdb.org/CN/10.3981/j.issn.1000-7857.2023.06.00837