博文
特邀综述：纳米级数字集成电路老化效应分析与老化监测技术综述
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赵天津;黄乐天;谢暄;魏敬和
电子科技大学，成都 640054
中文引用格式：赵天津，黄乐天，谢暄，等. 纳米级数字集成电路老化效应分析与老化监测技术综述[J]. 电子与封装，2020，2010：100101.
收稿日期:2020-05-06发布日期:2020-05-25摘要： 数字集成电路随着工艺制程的提高，可靠性问题逐步凸显，而老化则是可靠性问题的一个重要方面。同时由于数字集成电路被广泛地应用于工业、汽车、航天等领域，对可靠性提出更高的要求，因此针对数字集成电路老化监测的技术成为了研究热点。对数字集成电路的老化效应进行了总结，并分析得出先进工艺下需要重点监测的老化效应，对数字集成电路现有老化监测手段进行总结分析，同时对老化监测技术的进一步发展提出了展望。
https://wap.sciencenet.cn/blog-3415146-1255072.html
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